产品概述
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二氧化碳激光干涉(she)仪仪操作系统具(ju)备多样(yang)化的接口化部(bu)件,可(ke)🐲🐬跟据(ju)具(ju)体情况(kuang)在测(ce)量需要而(er)抉择不一样(yang)的部(bu)件。包(bao)括镜组下(xia)列图所述,逐一为(wei)直(zhi)线(xian)方程(cheng)镜组(zജu)、想法镜组(zu)、直(zhi)线(xian)方程(cheng)度(du)镜组(zu)、保持(chi)竖直(zhi)度(du)镜组(zu)、平(ping)行面度(du)镜组(zu)、半自动精密(mi)仪器转(zhuan)台。在这当中,非(fei)线性(xing)镜组为配有,由非规(gui)则化干(gan)涉现象镜、非规𒐪(gui)则化反射强度(du)镜和夹(jia)紧孔座结构。可充分(fen)考虑(lv)非规(gui)则化位移机械设备的精(jing)准追(zhui)踪定(ding)位误(wu)差、相似精(jing)准追(zhui)踪定(ding)位误(wu)差、方(fang)向腐蚀(shi)痕迹的预估与分(♔fen)析一下,、方(fang)向腐蚀(shi)痕迹改(gai)正(zheng)和锥度(du)补偿金。
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